晶圓和晶粒對準

精準地對準晶圓與晶粒，確保性能可靠

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這個統包解決方案專為製造熒幕時所用相當精準的攝影機與運動平台控制而設計。

使用 PatMax 定位組件

精準且一貫的組件與特徵定位技術

半導體製造流程的許多步驟都需要高度精準地對位，例如光刻流程、晶圓探測和測試、晶圓安裝及切割。為了滿足產業需求，半導體製造廠商採用只需極少人工介入的高速自動化生產系統。執行性能不佳的視覺對位系統會更頻繁停機，改由人工介入和進行維護，不僅造成生產流程中斷，也增加支援成本。除了生產效率不彰之外，對位不良也會造成晶圓的成品率和晶粒電路的電氣功能性下降。

PatMax 技術能穩健、精準又迅速地定位晶圓與晶粒圖案，進行晶圓檢測、探測、安裝、切割及測試設備，協助避免發生問題。PatMax 使用專利的幾何圖案定位演算法，尋找和對準各種不同的晶圓與晶粒圖案。高度精確且一貫的晶圓與晶粒對準能力，確保半導體製造流程的全程都有可靠的設備性能。與康耐視合作，OEM 能讓其設備的整體性能達到最佳狀態，改善品質與成品率。